型号参数

MLK X2000

MLK X2000S

MLK X2000P

载物台大小

480*450mm

480*450mm

480*450mm

XY 行程

450*480mm

450*480mm

450*480mm

视野（FOV）

100mm

100mm

100mm

最小视野（FOV）

2.5mm

2.5mm

2.5mm

载物台负荷

10kg

10kg

10kg

被测物体体积

480*450*150mm

480*450*150mm

480*450*150mm

轴数

5 轴

6 轴

6 轴

运动速度可达

100mm/s

100mm/s

100mm/s

最小步进精度

<3um

<3um

<3um

空间分辩率

3um

2um

2um

穿透力

50mm 铝板

60mm 铝板

60mm 铝板

灰度级

12 级

12 级

12 级

系统倍率

300 倍（几何倍率 50 倍）

300 倍（几何倍率 50 倍）

300 倍（几何倍率 50 倍）

管电压 KV

100KV

100KV

100KV

管电流 uA

200uA

250uA

250uA

光管类型/焦斑

封闭式油冷微焦斑光管，

FOCUS=5um

一体式油冷微焦斑光管，

FOCUS=5um

封闭式油冷微焦斑光管，

FOCUS=5um

图象接收器

200CCD+II 相机

光纤数字成像面板

光纤数字成像面板

图象接收器倾斜

Max70°

Max70°

Max70°

辐射参考：

GB15208.1～2005

辐射值≤1usv

辐射值≤1usv

辐射值≤1usv